半導體車間恒溫恒濕機
半導體車間恒溫恒濕機產品詳細信息:半導體生產是對環(huán)境要求非常嚴格的,溫度必須控制20到25度之間,空氣濕度則是要求在45%到55%RH之間,超過55%,那么冷卻水的水管上就會有結露景象出現,一旦水珠掉落到精細裝置或許是電路上,就會引發(fā)種種事項,導致產物質量降落不說,搞欠好還會出現嚴重的安全生產事項。
除此之外,溫度變化也會對半導體的生產造成影響。我們知道不管是什么物體都有熱脹冷縮現象,這種現象對于精密儀器加工來說是非常致命的,因為出現一丁點的溫度變化都會出現熱脹冷縮,雖然只有幾個微米的變動,但是對于產品來說就是不合格了。發(fā)展到現在,半導體的工藝差已經到了納米級別,你結果出現的微米級別的變動,這變動可就大的不得了,產品質量不被影響那就怪了。
那么該怎么控制好半導體車間的溫濕度呢?其實很簡單,那就是使用恒溫恒濕機,這是一種專業(yè)控制溫濕度的設備,對溫濕度的控制很精準,能夠控制好半導體無塵車間的溫濕度,確保半導體車間的溫濕度變化不會影響生產。恒溫恒濕機,控制溫濕度精確,售后及時周到,是半導體無塵車間控制溫濕度的好選擇。
恒溫恒濕機具有以下優(yōu)勢和特點:
◆智能控制:全自動控制器采用Siemens微電腦PLC可編程控制系統(tǒng),可獨立控制或集中控制,可配置通信接口,實現遠程監(jiān)控。
◆控制精密:全自動微電腦控制器所采用的動態(tài)運行控制方式可保證溫度控制范圍及精度:18℃~27℃±0.5℃或±1℃;濕度控制范圍及精度:45%~75%±2%或±5%RH;
◆高效寧靜:機組采用谷輪Copeland高效柔性渦旋式壓縮機和低噪音高效風機,配合大面積高效率換熱器等部件優(yōu)化設計而成,并進行特殊的消音處理,運行高效寧靜、制冷量更大、更省能源。
恒溫恒濕機系列產品具有自動加熱、制冷、加濕、除濕空氣凈化、增補新風的功能,分為自動和手動兩種形式。溫度、濕度的調節(jié)可同步進行。以確保在設定的溫度濕度范圍內保持室內環(huán)境的恒溫恒濕的精確需求??蓾M足國防、科研單位實驗室、數據中心、機房、酒窖、精密設備、制藥、玻璃真空鍍膜、高能電池原料儲存、糧食種子庫、顯影膠片庫及貴重文物等特殊物品的保存等特殊干燥工藝場合的要求,深受市場的歡迎。
恒溫恒濕機通過升溫、降溫、加濕、除濕,實現室內溫濕度的恒定;主要由壓縮機、電加熱器、電極式蒸汽加濕器、連續(xù)式除濕執(zhí)行元件、連續(xù)式調速冷凝風機等部件構成。機組可以通過安裝送風管、回風管滿足大空間各個角落的溫濕度需求;并且針對需要新風的場所,可以設計新風管,滿足室內新鮮空氣的需求;按冷卻方式可分為風冷型(HF系列)和水冷型(HS系列);
HF系列風冷型恒溫恒濕機技術參數:
產品型號單位HF9Q-IHF13D-IHF20D-IHF26D-IHF31D-IHF40D-IHF52D-IHF68D-I制冷量kw9.413.220.126.430.839.552.068.0kcal/h制熱量kw5.66.09.012.015.021.027.036.0kcal/h加濕量kg/h室外風機功率kw0.350.470.520.751.101.06×21.50×22.20×2額定風量m3/h輸入功率kw12.414.519..1045.5056.3290.87規(guī)格定制可按照使用現場要求進行訂做規(guī)格:制冷量77.6kW~255.3kW、風量:m3~m3的機型。
HS系列水冷型恒溫恒濕機技術參數:
產品型號單位HS11Q-IHS15D-IHS22D-IHS30D-IHS35D-IHS45D-IHS60D-IHS72D-I制冷量kw10.814.522.029.535.045.059.570.0kcal/h制熱量kw5.669.012.012.021.027.036.0kcal/h冷凝水水量t/h2.加濕量kg/h額定風量m3/h輸入功率kw12.4013.218.424.329.237.948.467.8規(guī)格訂制可按照使用現場要求進行訂做規(guī)格:制冷量89.5kW~305kW、風量:m3~m3的機型。
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